අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අතිශය නිරවද්යතාවයක් අවශ්ය වන අතර, CVD ප්රතික්රියාකාරක සහ කැටයම් යන්ත්ර වැනි තීරණාත්මක උපකරණවල හදවත වන කුටිය වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. මෙම මාර්ගෝපදේශය කුටි සැලසුම් අත්යවශ්ය කරුණු සහ අධි-සංශුද්ධතා ඇලුමිනියම් මිශ්ර ලෝහ ප්රධාන කර්මාන්ත අභියෝග විසඳන ආකාරය ගවේෂණය කරයි.
කුටීර කාර්ය සාධනය පාලනය කරන තීරණාත්මක සාධක 5ක් (සහ ඇලුමිනියම් විශිෂ්ට වන ආකාරය)
1. අතිශය ඉහළ රික්තක (UHV) අනුකූලතාව සහ කාන්දු වීම වැළැක්වීම
ගැටලුව: අන්වීක්ෂීය කාන්දුවීම් ක්රියාවලි අඛණ්ඩතාව විනාශ කරයි.
ඇලුමිනියම් වාසිය:බාධාවකින් තොරව CNC යන්ත්රගත කරන ලද සිරුරුඇලුමිනියම් බිල්ට් වලින් වෑල්ඩින් ස්ථාන ඉවත් කරයි. අපගේ 6061-T6 මිශ්ර ලෝහය < 10⁻⁹ mbar·L/sec හීලියම් කාන්දු අනුපාත ලබා ගනී.
2. තාප කළමනාකරණය: අන්ත පාපැදි පැදීමේදී ස්ථාවරත්වය
ගැටලුව: තාප විකෘති වීම අංශු දූෂණයට හේතු වේ.
විසඳුම: ඇලුමිනියම්වල උසස් තාප සන්නායකතාවය (≈150 W/m·K) මල නොබැඳෙන වානේ අභිබවා යයි. අපගේ අභිරුචි-සාදන ලද ඇලුමිනියම් තහඩු ±0.5°C ඒකාකාරිත්වය සඳහා සිසිලන නාලිකා ඒකාබද්ධ කරයි.
3. කටුක පරිසරවල ප්ලාස්මා විඛාදන ප්රතිරෝධය
දත්ත ලක්ෂ්යය: ඇනෝඩීකරණය කරන ලද ඇලුමිනියම් (25μm+ ඝණකම) ප්රතිකාර නොකළ මතුපිටට සාපේක්ෂව 10x දිගු CF₄/O₂ ප්ලාස්මා නිරාවරණයට ඔරොත්තු දෙයි.
4. චුම්භක පාරගම්යතාව: RF/ප්ලාස්මා ක්රියාවලි අඛණ්ඩතාව
ඇලුමිනියම් ඇයි? ශුන්යයට ආසන්න චුම්භක පාරගම්යතාව එචර්/ඉම්ප්ලාන්ටරවල ක්ෂේත්ර විකෘති වීම වළක්වයි.
5. පිරිවැය එදිරිව කාර්ය සාධන ප්රශස්තිකරණය
සිද්ධි අධ්යයනය: යන්ත්රගත කළ මල නොබැඳෙන වානේ ප්රතිස්ථාපනය කිරීමඇලුමිනියම් සහිත කුටිද්රව්යමය පිරිවැය 40% කින් සහ යන්ත්රෝපකරණ කාලය 35% කින් අඩු කරයි (2024 කර්මාන්ත මිණුම් සලකුණු මත පදනම්ව).
නිරවද්ය කුටි සඳහා අපගේ ඇලුමිනියම් විසඳුම්
කුටි ශරීර සහ පියන
ද්රව්ය: 5083/6061 ඇලුමිනියම් තහඩු (ඝනකම 150mm දක්වා)
ක්රියාවලිය: Ra ≤ 0.8μm මතුපිට නිමාවක් සහිත රික්ත-අනුකූල CNC යන්ත්රකරණය
ප්රධාන පිරිවිතර: AMS 2772 තාප පිරියම් කිරීම, 100% අතිධ්වනික පරීක්ෂණ
ගෑස් බෙදා හැරීමේ සංරචක
නිෂ්පාදන: අභ්යන්තර ක්ෂුද්ර සිදුරු සහිත නිරවද්ය ඇලුමිනියම් නල (OD 3mm-200mm).
තාක්ෂණය: ගැඹුරු සිදුරු විදීම (L/D අනුපාතය 30:1), විද්යුත් ඔප දැමීම
ව්යුහාත්මක ආධාරක සහ ගාංචු
ද්රව්ය: 7075-T651 ඇලුමිනියම් දඬු (ඉහළ ශක්තිය-බර අනුපාතය)
අනුකූලතාව: වායු විමෝචනය පාලනය සඳහා SEMI F72 ප්රමිතීන්
ඔබේ අර්ධ සන්නායක වාණිජ මණ්ඩල ව්යාපෘතිය සඳහා අප සමඟ හවුල් වන්නේ ඇයි?
1. කැපවූ පිරිසිදු කාමර යන්ත්රෝපකරණ: 1000 පන්තියේ පහසුකම අංශු දූෂණය වළක්වයි.
2. ද්රව්ය සොයා ගැනීමේ හැකියාව: මෝල් පරීක්ෂණ වාර්තා සඳහාසෑම ඇලුමිනියම් තහඩුවක්ම/දණ්ඩ/නලය.
3. ප්ලාස්මා-ප්රශස්තකරණය කළ නිමාව: විඛාදන ප්රතිරෝධය සඳහා හිමිකාර නිෂ්ක්රීයකරණය.
4. වේගවත් මූලාකෘතිකරණය: සංකීර්ණ කුටීර ජ්යාමිතීන් සඳහා දින 15 ක ඉදිරි කාලය.
පළ කිරීමේ කාලය: 2025 ජූනි-11