سيمي ڪنڊڪٽر چيمبرز لاءِ آخري گائيڊ: ايلومينيم ڇو پسند جو مواد آهي

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار انتهائي درستگي جي ضرورت آهي، ۽ چيمبر - سي وي ڊي ري ايڪٽرز ۽ ايچنگ مشينن جهڙن نازڪ سامان جو دل - هڪ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو. هي گائيڊ چيمبر ڊيزائن جي ضروريات کي ڳولي ٿو ۽ ڪيئن اعليٰ پاڪائي واري ايلومينيم مصر اهم صنعت جي چئلينجن کي حل ڪن ٿا.

5 اهم عنصر جيڪي چيمبر جي ڪارڪردگي کي هلائي رهيا آهن (۽ ايلومينيم ڪيئن بهتر ٿئي ٿو)

1. الٽرا هاءِ ويڪيوم (UHV) مطابقت ۽ ليڪ جي روڪٿام

مسئلو: خوردبيني ليڪ عمل جي سالميت کي خراب ڪن ٿا.

ايلومينيم جو فائدو:بي عيب سي اين سي مشين ٿيل جسمايلومينيم بليٽس مان ويلڊ پوائنٽس ختم ٿين ٿا. اسان جو 6061-T6 مصر < 10⁻⁹ mbar·L/sec هيليم ليڪ ريٽ حاصل ڪري ٿو.

2. حرارتي انتظام: انتهائي سائيڪلنگ جي تحت استحڪام

مسئلو: حرارتي وارپنگ ذرات جي آلودگي جو سبب بڻجندي آهي.

حل: ايلومينيم جي اعليٰ حرارتي چالکائي (≈150 W/m·K) اسٽينلیس سٹیل کان بهتر ڪارڪردگي ڏيکاري ٿي. اسان جون ڪسٽم-ٺهيل ايلومينيم پليٽون ±0.5°C جي هڪجهڙائي لاءِ کولنگ چينلز کي ضم ڪن ٿيون.

3. سخت ماحول ۾ پلازما سنکنرن جي مزاحمت

ڊيٽا پوائنٽ: اينوڊائيزڊ ايلومينيم (25μm+ ٿولهه) علاج نه ٿيل سطحن جي مقابلي ۾ 10x وڌيڪ CF₄/O₂ پلازما جي نمائش کي برداشت ڪري ٿو.

4. مقناطيسي پارگميتا: آر ايف/پلازما عمل جي سالميت

ايلومينيم ڇو؟ صفر جي ويجهو مقناطيسي پارگميتا ايچرز/ امپلانٽرز ۾ فيلڊ ڊسٽورشن کي روڪي ٿي.

5. قيمت بمقابله ڪارڪردگي جي اصلاح

ڪيس اسٽڊي: مشين ٿيل اسٽينلیس کي تبديل ڪرڻايلومينيم سان ڪمرامواد جي قيمتن ۾ 40 سيڪڙو ۽ مشيننگ وقت ۾ 35 سيڪڙو گهٽتائي ڪري ٿي (2024 جي انڊسٽري معيارن جي بنياد تي).

پريسيشن چيمبرز لاءِ اسان جا ايلومينيم حل

چيمبر باڊيز ۽ لِڊز

مواد: 5083/6061 ايلومينيم پليٽون (150 ملي ميٽر ٿلهي تائين)

عمل: ويڪيوم سان مطابقت رکندڙ سي اين سي مشيننگ را ≤ 0.8μm مٿاڇري جي ختم سان

اهم خاصيتون: AMS 2772 گرمي علاج، 100٪ الٽراسونڪ ٽيسٽنگ

گئس ورڇ جا جزا

پراڊڪٽس: پريسيشن ايلومينيم ٽيوب (OD 3mm-200mm) اندروني مائڪرو بورز سان

ٽيڪ: ڊيپ هول ڊرلنگ (L/D تناسب 30:1)، اليڪٽرروپولشنگ

اسٽرڪچرل سپورٽ ۽ فاسٽنرز

مواد: 7075-T651 ايلومينيم راڊز (وڏي طاقت کان وزن جو تناسب)

تعميل: آئوٽ گيسنگ ڪنٽرول لاءِ SEMI F72 معيار

پنهنجي سيمي ڪنڊڪٽر چيمبر پروجيڪٽ لاءِ اسان سان ڀائيواري ڇو؟