د سیمیکمډکټر چیمبرونو لپاره وروستۍ لارښود: ولې المونیم د انتخاب مواد دی

د سیمیکمډکټر تولید خورا دقت ته اړتیا لري، او چیمبر - د CVD ری ایکټرونو او ایچنګ ماشینونو په څیر د مهمو تجهیزاتو زړه - یو مهم رول لوبوي. دا لارښود د چیمبر ډیزاین اړین توکي او دا چې څنګه د لوړ پاکوالي المونیم الیاژونه د صنعت کلیدي ننګونې حل کوي، سپړنه کوي.

د چیمبر فعالیت چلولو لپاره ۵ مهم عوامل (او څنګه المونیم غوره کیږي)

۱. د الټرا-های ویکیوم (UHV) مطابقت او د لیک مخنیوی

ستونزه: مایکروسکوپي لیکونه د پروسې بشپړتیا خرابوي.

د المونیم ګټه:بې سیم CNC ماشین شوي بدنونهد المونیم بیلټونو څخه د ویلډ ټکي له منځه وړي. زموږ 6061-T6 الیاژ د 10⁻⁹ mbar·L/sec هیلیم لیک کچه ترلاسه کوي.

۲. د تودوخې مدیریت: د سخت سایکل چلولو لاندې ثبات

ستونزه: د تودوخې وارپینګ د ذراتو ککړتیا لامل کیږي.

حل: د المونیم غوره حرارتي چالکتیا (≈150 W/m·K) د سټینلیس سټیل څخه غوره فعالیت کوي. زموږ دودیز جوړ شوي المونیم پلیټونه د ±0.5°C یووالي لپاره د یخولو چینلونه مدغم کوي.

۳. په سخت چاپیریال کې د پلازما د زنګ مقاومت

د معلوماتو ټکی: انود شوی المونیم (25μm+ ضخامت) د نه درملنې شوي سطحو په پرتله د CF₄/O₂ پلازما سره د 10x اوږد تماس سره مقاومت کوي.

۴. مقناطیسي نفوذ: د RF/پلازما پروسې بشپړتیا

ولې المونیم؟ نږدې صفر مقناطیسي نفوذ وړتیا په ایچرونو / امپلانټرونو کې د ساحې تحریف مخه نیسي.

۵. لګښت د فعالیت اصلاح په مقابل کې

د قضیې مطالعه: د ماشین شوي سټینلیس سټیل ځای په ځای کولد المونیم سره خونېد موادو لګښتونه ۴۰٪ او د ماشین کولو وخت ۳۵٪ کموي (د ۲۰۲۴ صنعت معیارونو پراساس).

د دقیق چیمبرونو لپاره زموږ د المونیم حلونه

د خونې بدنونه او پوښونه

مواد: ۵۰۸۳/۶۰۶۱ المونیم پلیټونه (تر ۱۵۰ ملي میتره پورې ضخامت)

پروسه: د ویکیوم سره مطابقت لرونکی CNC ماشین د Ra ≤ 0.8μm سطحې پای سره

کلیدي ځانګړتیاوې: د AMS 2772 تودوخې درملنه، 100٪ الټراسونیک ازموینه

د ګازو د ویش اجزا

محصولات: دقیق المونیم ټیوبونه (OD 3mm-200mm) د داخلي مایکرو بورونو سره

ټیکنالوژي: د ژورو سوریو برمه کول (د L/D تناسب 30:1)، الکترو پالش کول

ساختماني ملاتړونه او بندونکي

مواد: 7075-T651 المونیم راډونه (د وزن لوړ ځواک تناسب)

اطاعت: د ګازو د کنټرول لپاره د SEMI F72 معیارونه

ولې ستاسو د سیمیکمډکټر چیمبر پروژې لپاره زموږ سره ملګرتیا کوئ؟