സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന് അങ്ങേയറ്റത്തെ കൃത്യത ആവശ്യമാണ്, കൂടാതെ സിവിഡി റിയാക്ടറുകൾ, എച്ചിംഗ് മെഷീനുകൾ പോലുള്ള നിർണായക ഉപകരണങ്ങളുടെ ഹൃദയമായ ചേമ്പർ ഒരു നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ചേമ്പർ ഡിസൈൻ അവശ്യകാര്യങ്ങളും ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിനിയം അലോയ്കൾ പ്രധാന വ്യവസായ വെല്ലുവിളികളെ എങ്ങനെ പരിഹരിക്കുന്നുവെന്നും ഈ ഗൈഡ് പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യുന്നു.

ചേമ്പറിന്റെ പ്രകടനത്തെ നയിക്കുന്ന 5 നിർണായക ഘടകങ്ങൾ (അലുമിനിയം എങ്ങനെ മികവ് പുലർത്തുന്നു)

1. അൾട്രാ-ഹൈ വാക്വം (UHV) കോംപാറ്റിബിലിറ്റി & ലീക്ക് പ്രിവൻഷൻ

പ്രശ്നം: സൂക്ഷ്മ ചോർച്ചകൾ പ്രക്രിയയുടെ സമഗ്രതയെ നശിപ്പിക്കുന്നു.

അലുമിനിയം പ്രയോജനം:തടസ്സമില്ലാത്ത CNC-മെഷീൻ ചെയ്ത ബോഡികൾഅലുമിനിയം ബില്ലറ്റുകളിൽ നിന്ന് വെൽഡ് പോയിന്റുകൾ ഇല്ലാതാക്കുന്നു. ഞങ്ങളുടെ 6061-T6 അലോയ് < 10⁻⁹ mbar·L/sec ഹീലിയം ചോർച്ച നിരക്ക് കൈവരിക്കുന്നു.

2. താപ മാനേജ്മെന്റ്: എക്സ്ട്രീം സൈക്ലിംഗിൽ സ്ഥിരത

പ്രശ്നം: താപ വളച്ചൊടിക്കൽ കണിക മലിനീകരണത്തിന് കാരണമാകുന്നു.

പരിഹാരം: അലൂമിനിയത്തിന്റെ ഉയർന്ന താപ ചാലകത (≈150 W/m·K) സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീലിനേക്കാൾ മികച്ചതാണ്. ഞങ്ങളുടെ ഇഷ്ടാനുസൃതമായി നിർമ്മിച്ച അലൂമിനിയം പ്ലേറ്റുകൾ ±0.5°C ഏകീകൃതതയ്ക്കായി കൂളിംഗ് ചാനലുകളെ സംയോജിപ്പിക്കുന്നു.

3. കഠിനമായ അന്തരീക്ഷത്തിൽ പ്ലാസ്മ നാശന പ്രതിരോധം

ഡാറ്റാ പോയിന്റ്: അനോഡൈസ്ഡ് അലുമിനിയം (25μm+ കനം) ചികിത്സിക്കാത്ത പ്രതലങ്ങളുമായി താരതമ്യം ചെയ്യുമ്പോൾ 10 മടങ്ങ് കൂടുതൽ CF₄/O₂ പ്ലാസ്മ എക്സ്പോഷർ താങ്ങുന്നു.

4. കാന്തിക പ്രവേശനക്ഷമത: RF/പ്ലാസ്മ പ്രക്രിയ സമഗ്രത

അലൂമിനിയം എന്തുകൊണ്ട്? പൂജ്യത്തിനടുത്തുള്ള കാന്തിക പ്രവേശനക്ഷമത എച്ചറുകളിലും/ഇംപ്ലാന്ററുകളിലും ഫീൽഡ് വികലതയെ തടയുന്നു.

5. ചെലവ് vs. പ്രകടന ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ

കേസ് പഠനം: മെഷീൻ ചെയ്ത സ്റ്റെയിൻലെസ് ബാറുകൾ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കൽഅലുമിനിയം ഉള്ള അറകൾമെറ്റീരിയൽ ചെലവ് 40% ഉം മെഷീനിംഗ് സമയം 35% ഉം കുറയ്ക്കുന്നു (2024 ലെ വ്യവസായ മാനദണ്ഡങ്ങളെ അടിസ്ഥാനമാക്കി).

പ്രിസിഷൻ ചേമ്പറുകൾക്കുള്ള ഞങ്ങളുടെ അലുമിനിയം സൊല്യൂഷനുകൾ

ചേംബർ ബോഡികളും ലിഡുകളും

മെറ്റീരിയൽ: 5083/6061 അലുമിനിയം പ്ലേറ്റുകൾ (150mm വരെ കനം)

പ്രക്രിയ: Ra ≤ 0.8μm ഉപരിതല ഫിനിഷുള്ള വാക്വം-അനുയോജ്യമായ CNC മെഷീനിംഗ്

പ്രധാന സവിശേഷതകൾ: AMS 2772 ഹീറ്റ് ട്രീറ്റ്മെന്റ്, 100% അൾട്രാസോണിക് ടെസ്റ്റിംഗ്

ഗ്യാസ് വിതരണ ഘടകങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ: ആന്തരിക മൈക്രോ-ബോറുകളുള്ള പ്രിസിഷൻ അലുമിനിയം ട്യൂബുകൾ (OD 3mm-200mm)

സാങ്കേതികവിദ്യ: ഡീപ്പ്-ഹോൾ ഡ്രില്ലിംഗ് (എൽ/ഡി അനുപാതം 30:1), ഇലക്ട്രോപോളിഷിംഗ്

ഘടനാപരമായ പിന്തുണകളും ഫാസ്റ്റനറുകളും

മെറ്റീരിയൽ: 7075-T651 അലുമിനിയം ദണ്ഡുകൾ (ഉയർന്ന കരുത്തും ഭാരവും തമ്മിലുള്ള അനുപാതം)

അനുസരണം: വാതക പുറന്തള്ളൽ നിയന്ത്രണത്തിനുള്ള SEMI F72 മാനദണ്ഡങ്ങൾ

നിങ്ങളുടെ സെമികണ്ടക്ടർ ചേംബർ പ്രോജക്റ്റിനായി ഞങ്ങളുമായി പങ്കാളിയാകുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

1. സമർപ്പിത ക്ലീൻറൂം മെഷീനിംഗ്: ക്ലാസ് 1000 സൗകര്യം കണിക മലിനീകരണം തടയുന്നു.

2. മെറ്റീരിയൽ ട്രെയ്‌സിബിലിറ്റി: മിൽ ടെസ്റ്റ് റിപ്പോർട്ടുകൾഓരോ അലുമിനിയം പ്ലേറ്റും/വടി/ട്യൂബ്.

3. പ്ലാസ്മ-ഒപ്റ്റിമൈസ്ഡ് ഫിനിഷിംഗ്: നാശന പ്രതിരോധത്തിനായുള്ള പ്രൊപ്രൈറ്ററി പാസിവേഷൻ.

4. ദ്രുത പ്രോട്ടോടൈപ്പിംഗ്: സങ്കീർണ്ണമായ ചേമ്പർ ജ്യാമിതികൾക്ക് 15 ദിവസത്തെ ലീഡ് സമയം.