ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಚೇಂಬರ್‌ಗಳಿಗೆ ಅಂತಿಮ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ: ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಏಕೆ ಆಯ್ಕೆಯ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ತೀವ್ರ ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚೇಂಬರ್ - ಸಿವಿಡಿ ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಯಂತ್ರಗಳಂತಹ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಹೃದಯಭಾಗ - ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಚೇಂಬರ್ ವಿನ್ಯಾಸದ ಅಗತ್ಯತೆಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿಶ್ರಲೋಹಗಳು ಪ್ರಮುಖ ಉದ್ಯಮದ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಹೇಗೆ ಪರಿಹರಿಸುತ್ತವೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಪರಿಶೋಧಿಸುತ್ತದೆ.

ಚೇಂಬರ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವ 5 ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಂಶಗಳು (ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಹೇಗೆ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ)

1. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ (UHV) ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಮತ್ತು ಸೋರಿಕೆ ತಡೆಗಟ್ಟುವಿಕೆ

ಸಮಸ್ಯೆ: ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ ಸೋರಿಕೆಗಳು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಹಾಳುಮಾಡುತ್ತವೆ.

ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಅನುಕೂಲ:ತಡೆರಹಿತ CNC-ಯಂತ್ರದ ದೇಹಗಳುಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಬಿಲ್ಲೆಟ್‌ಗಳಿಂದ ವೆಲ್ಡ್ ಪಾಯಿಂಟ್‌ಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. ನಮ್ಮ 6061-T6 ಮಿಶ್ರಲೋಹವು < 10⁻⁹ mbar·L/sec ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ದರವನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ.

2. ಉಷ್ಣ ನಿರ್ವಹಣೆ: ತೀವ್ರ ಸೈಕ್ಲಿಂಗ್ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರತೆ

ಸಮಸ್ಯೆ: ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪತೆಯು ಕಣ ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

ಪರಿಹಾರ: ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (≈150 W/m·K) ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್‌ಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ. ನಮ್ಮ ಕಸ್ಟಮ್-ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಟೆಡ್ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು ±0.5°C ಏಕರೂಪತೆಗಾಗಿ ಕೂಲಿಂಗ್ ಚಾನಲ್‌ಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತವೆ.

3. ಕಠಿಣ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ

ಡೇಟಾ ಪಾಯಿಂಟ್: ಅನೋಡೈಸ್ಡ್ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ (25μm+ ದಪ್ಪ) ಸಂಸ್ಕರಿಸದ ಮೇಲ್ಮೈಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ 10 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು CF₄/O₂ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮಾನ್ಯತೆಯನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

4. ಕಾಂತೀಯ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆ: RF/ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಗ್ರತೆ

ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಏಕೆ? ಶೂನ್ಯಕ್ಕೆ ಹತ್ತಿರವಿರುವ ಕಾಂತೀಯ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆಯು ಎಚ್ಚಣೆಗಾರರು/ಇಂಪ್ಲಾಂಟರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಕ್ಷೇತ್ರ ವಿರೂಪವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.

5. ವೆಚ್ಚ vs. ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್

ಪ್ರಕರಣ ಅಧ್ಯಯನ: ಯಂತ್ರದ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವುದುಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಹೊಂದಿರುವ ಕೋಣೆಗಳುವಸ್ತು ವೆಚ್ಚವನ್ನು 40% ಮತ್ತು ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಸಮಯವನ್ನು 35% ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ (2024 ರ ಉದ್ಯಮದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿ).

ನಿಖರವಾದ ಕೋಣೆಗಳಿಗಾಗಿ ನಮ್ಮ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಪರಿಹಾರಗಳು

ಚೇಂಬರ್ ಬಾಡೀಸ್ & ಮುಚ್ಚಳಗಳು

ವಸ್ತು: 5083/6061 ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು (150mm ವರೆಗೆ ದಪ್ಪ)

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ: Ra ≤ 0.8μm ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯದೊಂದಿಗೆ ನಿರ್ವಾತ-ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ CNC ಯಂತ್ರ

ಪ್ರಮುಖ ವಿಶೇಷಣಗಳು: AMS 2772 ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆ, 100% ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಪರೀಕ್ಷೆ

ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ಘಟಕಗಳು

ಉತ್ಪನ್ನಗಳು: ಆಂತರಿಕ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಬೋರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ನಿಖರವಾದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಟ್ಯೂಬ್‌ಗಳು (OD 3mm-200mm)

ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ: ಆಳವಾದ ರಂಧ್ರ ಕೊರೆಯುವಿಕೆ (ಎಲ್/ಡಿ ಅನುಪಾತ 30:1), ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶಿಂಗ್

ರಚನಾತ್ಮಕ ಬೆಂಬಲಗಳು ಮತ್ತು ಫಾಸ್ಟೆನರ್‌ಗಳು

ವಸ್ತು: 7075-T651 ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ರಾಡ್‌ಗಳು (ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ-ತೂಕದ ಅನುಪಾತ)

ಅನುಸರಣೆ: ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ SEMI F72 ಮಾನದಂಡಗಳು

ನಿಮ್ಮ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಚೇಂಬರ್ ಯೋಜನೆಗಾಗಿ ನಮ್ಮೊಂದಿಗೆ ಏಕೆ ಪಾಲುದಾರಿಕೆ ಹೊಂದಬೇಕು?