ნახევარგამტარული კამერების საბოლოო სახელმძღვანელო: რატომ არის ალუმინი სასურველი მასალა

ნახევარგამტარების წარმოება უკიდურეს სიზუსტეს მოითხოვს და კამერა - ისეთი კრიტიკული აღჭურვილობის გული, როგორიცაა CVD რეაქტორები და გრავირების მანქანები - გადამწყვეტ როლს ასრულებს. ეს სახელმძღვანელო იკვლევს კამერის დიზაინის არსებით საკითხებს და იმას, თუ როგორ წყვეტენ მაღალი სისუფთავის ალუმინის შენადნობები ინდუსტრიის ძირითად გამოწვევებს.

კამერის მუშაობის განმსაზღვრელი 5 კრიტიკული ფაქტორი (და როგორ აღემატებოდეს ალუმინი)

1. ულტრამაღალი ვაკუუმის (UHV) თავსებადობა და გაჟონვის პრევენცია

პრობლემა: მიკროსკოპული გაჟონვა არღვევს პროცესის მთლიანობას.

ალუმინის უპირატესობა:უნაკერო CNC დამუშავებული კორპუსებიალუმინის ნაკეთობებიდან შედუღების წერტილები აღმოიფხვრება. ჩვენი 6061-T6 შენადნობი აღწევს < 10⁻⁹ mbar·L/sec ჰელიუმის გაჟონვის სიჩქარეს.

2. თერმული მართვა: სტაბილურობა ექსტრემალური ციკლის დროს

პრობლემა: თერმული დეფორმაცია იწვევს ნაწილაკებით დაბინძურებას.

გადაწყვეტა: ალუმინის უმაღლესი თბოგამტარობა (≈150 W/m·K) აღემატება უჟანგავ ფოლადს. ჩვენი სპეციალურად დამზადებული ალუმინის ფირფიტები აერთიანებს გამაგრილებელ არხებს ±0.5°C ერთგვაროვნების მისაღწევად.

3. პლაზმური კოროზიისადმი მდგრადობა მკაცრ გარემოში

მონაცემთა პუნქტი: ანოდირებული ალუმინი (25μm+ სისქე) დაუმუშავებელ ზედაპირებთან შედარებით 10-ჯერ უფრო დიდხანს უძლებს CF₄/O₂ პლაზმურ ზემოქმედებას.

4. მაგნიტური გამტარობა: რადიოსიხშირული/პლაზმური პროცესის მთლიანობა

რატომ ალუმინი? თითქმის ნულოვანი მაგნიტური გამტარობა ხელს უშლის ველის დამახინჯებას გრავიორებში/იმპლანტატორებში.

5. ხარჯების და შესრულების ოპტიმიზაციის შედარება

შემთხვევის შესწავლა: დამუშავებული უჟანგავი ფოლადის შეცვლაალუმინის კამერებიამცირებს მასალების ხარჯებს 40%-ით და დამუშავების დროს 35%-ით (2024 წლის ინდუსტრიის ბენჩმარკების მიხედვით).

ჩვენი ალუმინის გადაწყვეტილებები ზუსტი კამერებისთვის

კამერის კორპუსები და სახურავები

მასალა: 5083/6061 ალუმინის ფირფიტები (150 მმ-მდე სისქით)

პროცესი: ვაკუუმ-თავსებადი CNC დამუშავება Ra ≤ 0.8μm ზედაპირის დამუშავებით

ძირითადი მახასიათებლები: AMS 2772 თერმული დამუშავება, 100%-იანი ულტრაბგერითი ტესტირება

გაზის განაწილების კომპონენტები

პროდუქცია: ზუსტი ალუმინის მილები (OD 3mm-200mm) შიდა მიკრო-ნახვრეტებით

ტექნოლოგია: ღრმა ნახვრეტის ბურღვა (L/D თანაფარდობა 30:1), ელექტროპოლირება

სტრუქტურული საყრდენები და შესაკრავები

მასალა: 7075-T651 ალუმინის ღეროები (მაღალი სიმტკიცისა და წონის თანაფარდობა)

შესაბამისობა: SEMI F72 სტანდარტები გაზის გამოყოფის კონტროლისთვის

რატომ უნდა ითანამშრომლოთ ჩვენთან ნახევარგამტარული კამერის პროექტისთვის?