Pembuatan semikonduktor menuntut presisi yang ekstrem, dan ruang—inti dari peralatan penting seperti reaktor CVD dan mesin etsa—memainkan peran yang sangat penting. Panduan ini membahas hal-hal penting dalam desain ruang dan bagaimana paduan aluminium dengan kemurnian tinggi memecahkan tantangan utama dalam industri.

5 Faktor Penting yang Mendorong Kinerja Ruang (Dan Keunggulan Aluminium)

1. Kompatibilitas Vakum Ultra-Tinggi (UHV) & Pencegahan Kebocoran

Masalah: Kebocoran mikroskopis merusak integritas proses.

Keunggulan Aluminium:Bodi mesin CNC yang mulusdari billet aluminium menghilangkan titik las. Paduan 6061-T6 kami mencapai tingkat kebocoran helium < 10⁻⁹ mbar·L/detik.

2. Manajemen Termal: Stabilitas dalam Siklus Ekstrem

Masalah: Kelengkungan termal menyebabkan kontaminasi partikel.

Solusi: Konduktivitas termal aluminium yang unggul (≈150 W/m·K) mengungguli baja tahan karat. Pelat aluminium yang dibuat khusus mengintegrasikan saluran pendingin untuk keseragaman ±0,5°C.

3. Tahan Korosi Plasma di Lingkungan yang Keras

Titik Data: Aluminium anodized (ketebalan 25μm+) menahan paparan plasma CF₄/O₂ 10x lebih lama dibandingkan permukaan yang tidak dirawat.

4. Permeabilitas Magnetik: Integritas Proses RF/Plasma

Mengapa Aluminium? Permeabilitas magnetik mendekati nol mencegah distorsi medan pada etcher/implanter.

5. Optimalisasi Biaya vs. Kinerja

Studi Kasus: Mengganti baja tahan karat yang sudah dikerjakanruang dengan aluminiummengurangi biaya material hingga 40% dan waktu pemesinan hingga 35% (berdasarkan tolok ukur industri tahun 2024).

Solusi Aluminium Kami untuk Ruang Presisi

Badan dan Tutup Ruang

Bahan: Plat Aluminium 5083/6061 (ketebalan hingga 150mm)

Proses: Pemesinan CNC yang kompatibel dengan vakum dengan permukaan akhir Ra ≤ 0,8μm

Spesifikasi Utama: Perlakuan panas AMS 2772, pengujian ultrasonik 100%

Komponen Distribusi Gas

Produk: Tabung aluminium presisi (OD 3mm-200mm) dengan lubang mikro internal

Teknologi: Pengeboran lubang dalam (rasio L/D 30:1), pemolesan elektro

Dukungan dan Pengencang Struktural

Bahan: Batang Aluminium 7075-T651 (rasio kekuatan dan berat yang tinggi)

Kepatuhan: Standar SEMI F72 untuk pengendalian gas keluar

Mengapa Bermitra dengan Kami untuk Proyek Kamar Semikonduktor Anda?

1. Pemesinan Ruang Bersih Khusus: Fasilitas Kelas 1000 mencegah kontaminasi partikulat.

2. Ketertelusuran Material: Laporan uji pabrik untuksetiap pelat aluminium/batang/tabung.

3. Penyelesaian dengan Optimalisasi Plasma: Pasivasi eksklusif untuk ketahanan terhadap korosi.

4. Pembuatan Prototipe Cepat: Waktu tunggu 15 hari untuk geometri ruang yang kompleks.