Gid konplè pou chanm semi-kondiktè yo: Poukisa aliminyòm se materyèl chwa a

Fabrikasyon semi-kondiktè mande anpil presizyon, epi chanm nan—kè ekipman kritik tankou reaktè CVD ak machin grave—jwe yon wòl esansyèl. Gid sa a eksplore esansyèl konsepsyon chanm ak kijan alyaj aliminyòm ki gen gwo pite rezoud defi kle nan endistri a.

5 Faktè Kritik ki Kondwi Pèfòmans Chanm (Ak Kijan Aliminyòm Eksele)

1. Konpatibilite ak Ultra-High Vacuum (UHV) ak Prevansyon Flit

Pwoblèm: Fwit mikwoskopik yo gate entegrite pwosesis la.

Avantaj aliminyòm:Kò san pwoblèm ki fèt ak machin CNCsoti nan billet aliminyòm elimine pwen soude. Alyaj 6061-T6 nou an rive nan yon to flit elyòm < 10⁻⁹ mbar·L/sec.

2. Jesyon tèmik: Estabilite anba siklaj ekstrèm

Pwoblèm: Deformation tèmik lakòz kontaminasyon patikil.

Solisyon: Konduktivite tèmik siperyè aliminyòm nan (≈150 W/m·K) pi pèfòman pase asye pur. Plak aliminyòm nou yo fabrike espesyalman entegre chanèl refwadisman pou yon inifòmite ±0.5°C.

3. Rezistans Korozyon Plasma nan Anviwònman Difisil

Pwen Done: Aliminyòm anodize (25μm+ epesè) reziste 10 fwa pi lontan ekspozisyon plasma CF₄/O₂ konpare ak sifas ki pa trete.

4. Pèmeyabilite mayetik: Entegrite pwosesis RF/Plasma

Poukisa aliminyòm? Pèmeyabilite mayetik ki prèske zewo anpeche distòsyon chan mayetik nan aparèy pou grave/enplante.

5. Pri vs. Optimizasyon Pèfòmans

Etid Ka: Ranplase asye pur ki fèt ak machinchanm ak aliminyòmdiminye pri materyèl yo pa 40% ak tan machinasyon pa 35% (dapre referans endistri 2024).

Solisyon aliminyòm nou yo pou chanm presizyon

Kò Chanm ak Kouvèti

Materyèl: Plak aliminyòm 5083/6061 (jiska 150mm epesè)

Pwosesis: Machinasyon CNC konpatib ak vakyòm ak yon fini sifas Ra ≤ 0.8μm

Espesifikasyon kle: Tretman chalè AMS 2772, 100% tès ultrasons

Konpozan Distribisyon Gaz