როგორ გამოიყენება ალუმინი ნახევარგამტარებში?

ალუმინს აქვს მრავალი თვისება, რაც მას პირველადი არჩევანია ნახევარგამტარებში და მიკროჩიპებში გამოსაყენებლად. მაგალითად, ალუმინს აქვს სილიკონის დიოქსიდის უმაღლესი ადჰეზი, ნახევარგამტარების ძირითადი კომპონენტი (ეს არის ის, სადაც სილიკონის ველი მიიღო თავისი სახელი). ეს არის ელექტრული თვისებები, კერძოდ, რომ მას აქვს დაბალი ელექტრული წინააღმდეგობა და ქმნის შესანიშნავი კონტაქტს მავთულის ობლიგაციებთან, ალუმინის კიდევ ერთი სარგებელია. ასევე მნიშვნელოვანია ის, რომ ადვილია ალუმინის სტრუქტურა მშრალ ეჩის პროცესებში, გადამწყვეტი ნაბიჯი ნახევარგამტარული დამზადებაში. მიუხედავად იმისა, რომ სხვა ლითონები, როგორიცაა სპილენძი და ვერცხლი, გვთავაზობენ უკეთეს კოროზიის წინააღმდეგობას და ელექტრო სიმკაცრეს, ისინი ასევე ბევრად უფრო ძვირია, ვიდრე ალუმინი.

ნახევარგამტარების წარმოებაში ალუმინის ერთ - ერთი ყველაზე გავრცელებული პროგრამა არის ნახველის ტექნოლოგიის პროცესში. მიკროპროცესორული ძაფებში მაღალი სიწმინდის ლითონების და სილიკონის ნანოს სისქის თხელი განლაგება ხორციელდება ფიზიკური ორთქლის დეპონირების პროცესში, რომელიც ცნობილია როგორც ნახველები. მასალა ამოღებულია სამიზნედან და დეპონირდება სილიკონის სუბსტრატის ფენაზე ვაკუუმის პალატაში, რომელიც გაზით არის სავსე, რათა ხელი შეუწყოს პროცედურის გასაადვილებლად; ჩვეულებრივ, ინერტული გაზი, როგორიცაა არგონი.

ამ სამიზნეების საყრდენი ფირფიტები დამზადებულია ალუმინისგან, რომელთაც აქვთ მაღალი სიწმინდის მასალები დეპონირებისთვის, მაგალითად, ტანტალიუმი, სპილენძი, ტიტანიუმი, ვოლფრამები ან 99.9999% სუფთა ალუმინი, რომელიც მათ ზედაპირზეა შეკრული. სუბსტრატის გამტარ ზედაპირის ფოტოელექტრული ან ქიმიური ხრტილი ქმნის ნახევარგამტარული ფუნქციის დროს გამოყენებული მიკროსკოპული მიკროსქემის ნიმუშებს.

ნახევარგამტარული დამუშავების ყველაზე გავრცელებული ალუმინის შენადნობი 6061. შენადნობის საუკეთესო შესრულების უზრუნველსაყოფად, ზოგადად, დამცავი ანოდირებული ფენა გამოყენებული იქნება ლითონის ზედაპირზე, რაც ხელს შეუწყობს კოროზიის წინააღმდეგობას.

იმის გამო, რომ ისინი ასეთი ზუსტი მოწყობილობებია, კოროზია და სხვა პრობლემები მჭიდროდ უნდა იქნას მონიტორინგი. რამდენიმე ფაქტორი დაფიქსირდა, რომ წვლილი შეიტანეს ნახევარგამტარული მოწყობილობებში კოროზიის შესახებ, მაგალითად, პლასტმასის შეფუთვაზე.